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紫光束射出,透过掩膜版,经层层物镜使掩膜版上的电路图成倍缩小,然后照射在晶圆上,让芯片的两面有差别的曝光,然后按程序反复进行制作。
nbsp而要在芯片上形成集成电路,完成芯片最后的制作,这一流程需要不断重复,可以多达数十次乃至上百次,视所制作芯片的要求而定。
nbsp而经过莹莹三人自制的光刻工作台,不但满足了以上原始的芯片制作,而且由于两台光刻机同时工作,效率提高了一倍。另外,又因为是有差别的进行,因此可制作光刻机额定的芯片分辩率提高一倍,即由28nm变为14nm的制作,只在芯片上下两面的曝光时间差相距二分一即可。
nbsp这一设想是莹莹经过反复分析和推敲出来的,又与同刚、灵玉共同设计而最终制成的光刻工作台。
nbsp他们通过透视窗看到全封闭的工作台,晶圆片正配合着紫光束在自动地运作,心里有说不出的高兴,这是第一个创造的成果啊!莹莹看着看着,侧个头看看灵玉,又看看同刚,三个人会意地点着头笑了。
nbsp为了让总经理第一时间分享他们的成绩,下午下班莹莹走出实验室,更衣后来到会议室,拿起手机就去电话了。
nbsp“好!我这就过去。”陈东升的心里掠过一丝欣慰,马上叫秘书去要了一桌饭菜和两瓶红酒,然后带上总工程师从公司办公室驱车而去。
nbsp莹莹三人拿着饭盒刚走出休息室,只见总经理和秘书各掂着两只篮子走过来,赶紧迎上去怔怔地:“陈总好!总工好!”
nbsp“来、来、来,不用去打晚饭了,我这里有好饭菜!”
nbsp三人听着总经理轻松而利落的话语,心顿觉淡定了许多,莹莹带头一笑,同刚和灵玉也微笑起来,跟着走回了休息室。
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